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发布时间:2020-07-11 00:16:45
什么是电子气体
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中,全部工艺步骤超过道,其中大约要使用种不同种类的电子气体。
电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求,在充分保证工艺和产品安全使用的前提下,将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。
标准气体有哪些分类
标准气体有哪些分类?
1、常见的标准气体按用途包括:气体报警类标准气体、电力能源类标准气体、石油化工类标准气体、环保监测类标准气体、卫生类标准气体、仪器仪表类标准气体等。
2、标准气还可用于环境监测,***的有机物测量,汽车排放气测试,然气BTU测量,校正标准,超临界流体工艺等。
3、大型乙烯厂,合成氨厂及其它石化企业,在装置开车,停车和正常生产过程中需要几十种纯气和几百种多组分标准混合气,用来校准,定标生产过程中使用的在线分析仪器和分析原料及产品质量的仪器。
***气是一种惰性气体,现在广泛应用于工业行业,是一种很有用的稀有气体,***气性质非常不生动,它既不能焚烧,也不能助燃,因而稳定性很好,***气不会发生化学反应而爆燃爆,只有可能因为科拉贝隆推导公式的压强改变而燃爆。***气罐很结实,也不会像煤气罐那样单片横飞,ArF是有的,但温度改变不大,一般情况下,乃至高温高压下都没有问题。 高纯***气的***履行标准是GB/T10624—1995,质量要求到达99.999%以上。
***气是采用空气分离提***,即将液化的空气进行精馏,得到粗***.抽出粗***,经进一步提纯可得到高纯***,高纯***在半导体工业中用作出产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相堆积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯***也可作为色谱载气.***被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管;焊接保护气;在钛、钴和其他活性金属的出产中用作屏蔽气;在黑色冶金中用于吹炼特种钢。
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